Techniques application field CVD & ALD film-deposition techniques
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CVD与ALD薄膜沉积技术的主要应用领域显示为OLED、QD-OLED以及未来可能发展的QLED设备的薄膜封装过程。该过程通过有机-无机交替层结构提供保护措施,从而将水汽渗透率(WVTR)降至10至5克每平方米每天之间,确保有机发光二极管(OLED)或量子点发光材料能够维持稳定的运行状态。此外,另外一种称为量子点光学膜(QDEF)也需要使用水汽渗透率小于0.1阻隔膜来进行保护设计,这种设计可有效防止量子点因水氧侵蚀而损坏性能或寿命

在涵盖miniLED、microLED以及MMIC(Monolithic microwave integrated circuit)等微电子封装技术方面,在这一领域内进行深入研究后发现:采用晶圆级薄膜封装工艺可显著提升器件在严苛环境下的稳定性能;这一技术路径对于推动微电子设备实现微型化与集成化具有关键性的支撑作用

医疗器械领域中,C
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